发明名称 感测器及其制造方法
摘要
申请公布号 TW110138 申请公布日期 1989.03.21
申请号 TW076106060 申请日期 1987.10.12
申请人 费加洛技研股份有限公司 发明人 小野靖典;香田弘史;岛袋宗春
分类号 G01N27/14 主分类号 G01N27/14
代理机构 代理人 蔡坤财 台北巿松江路一四八号十二楼之三
主权项 1.一种感测器,系包含:一金属发热体,系将耐热绝缘性被覆至少施于表面之一部分层者;一氛围气感应物质,系至少将其一部分设于前述被覆上者;以及至少一个电极,系接续于前述氛围气感应物质层者。2.依据申请专利范围第I项所述之感测器,其中系以卑金发热体作为金属发热体,藉耐热绝缘性被覆来分离氛围气感应物质层与金属发热体之同时;在氛围气感应物质层至少接续两个电极。3.依据申请专利范围第1项所述之感测器,其中系以贵金属发热体作为金属发热体之同时,在该金属发热体设置末施有耐热性被覆之领域,而将氛围气感应物质层延伸到此领域,使该氛围气感应物质层接触于该金属发热体,以便将金属发热体用作该氛围气感应物质层之电极同时,于该氛围气感应物质接续其他电极。4.依据申请专利范围第2项所述之感测器,其中系于金属发热体之一部分施有导电性被覆。5.依据申请专利范围第1项所述之感测器,其中系设置设有至少三个外部电极的耐热绝缘性基板之同时;于该基板上配置前述金属发热体;以及将接续于前述金属发热体与前述氛围气感应物质层之电极,结合于至少三个的外部电极。6.一种感测器之制造方法,系包含一于金属发热体表面之至少一部分,施以耐热绝缘性被覆之工程;一将氛围气感应物质层,设成至少其一部分配置在该被覆上之工程;以及一设置至少一个接续于氛围气感应物质层的电极之工程。7.依据申请专利范围第6项所述之制造方法,其中系于形成氛围气感应物质层后,设置前述电极。8.依据申请专利范围第6项所述之制造方法,其中系于形成耐热绝缘性被覆之后,及形成氛围气感应物质层之前,设置前述电极。9.依据申请专利范围第6项所述之制造方法,其中系将前述耐热绝缘性被覆,藉因热分解而转化成耐热绝缘性被覆材料的物质之热分解,来形成。10.依据申请专利范围第6项所述之制造方法,其中系包含:一设置预先施有耐热绝缘性被覆之同时设有氛围气感应物质层的,结合有多数个金属发热体的框架之工程;一将该框架之位置对合外部引带之工程;以及一于对合位置后将金属发热体结合于外部引带,接着将金属发热体从框架分离之工程。11.依据申请专利范围第I0项所述之制造方法,其中系将外部引带多数个结合成一连,以作为引线框架,并将金属发热体之框架位置对合于该引线框架。图示简单说明:第I 图系第一实施例之感测器正面图;第2 图系第I 图之II一II之要部断面图;第3 图(a)~ (e)系分别图示第1图感测器的制造工程之斜视图。第4 图(a)~ (d)系分别图示第1图感测器的装配工程之正面图;第5 图系第二实施例之要部断面图;第6 图系第三实施例之要部断面图;第7 图系第四实施例之要部正面图;第8 图系第7 图之vⅢ一vⅢ断面图;第9 图系适于实施例感测器的附带电路之电路图;第10图系其他附带电路之电路图;第11图系第9 图,第10图之附带电路之特性图;第12图系显示实施例瓦斯特性之特性图;第13图系图示第五实施例外部引带的配置之平面图;第14图系图示结合有第五实施例金属发热体的引线框架之平面图;第15图(a)~ (c)系分别图示第14图引线框架的制造工程之平面图;第16图系图示第五实施例的金属发热体之要部扩大断面图;第17图系把第五实施例变形的金属发热体之要部扩大断面图;第18图系把第五实施例的瓦斯感测器之平面图;第19图系第18图之要部扩大平面图;第20图系第6实施例之要部扩大断面图;以及第21图系第20图之IIXI~ IIXI要部扩大断面图。
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