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Bei einem Meßaufnehmer für Längen- oder Abstandsänderungen (Δ x) mit mechanisch-elektrischer Meßgrößenumformung ist als verstellbare Kapazität eine Kondensatoranordnung (Ka) mit zwei parallel zueinander verstellbaren Elektrodenstrukturen (Es1,Es2) vorgesehen. Die vorzugsweise kammförmig ausgebildeten und ineinandergreifenden Elektrodenstrukturen (Es1,Es2) bestehen jeweils aus mehreren ebenen, parallel im Abstand zueinander angeordneten Elektroden (E1,E2) die paarweise einander zugeordnet sind. Durch eine stark unsymmetrische Anordnung der Elektrodenstrukturen (Es1,Es2) wird eine kapazitive Entkoppelung erreicht, so daß die Gesamtkapazität der Kondensatoranordnung sich aus einer Parallelschaltung von Elektrodenpaaren ergibt, die jeweils durch einander zugeordnete Elektroden (E1 und E2) gebildet sind. Als Meßgröße dient die durch den variablen Elektrodenabstand (d1) der Elektrodenpaare hervorgerufene Kapazitätsänderung. Mit als Mikrostrukturen ausgebildeten Elektrodenstrukturen können beispielsweise Torsionen (Δ x) von wenigen Mikrometern erfaßt werden. Um den Einfluß von auf die Welle (We) einwirkenden Querkräften oder Biegemomenten zu kompensieren, ist der Kondensatoranordnung (Ka) vorzugsweise eine zweite, in bezug auf die Achse (A) der Welle (We) um einen Winkel von 180° verdreht angeorndete, identische Kondensatoranordnung zugeordnet, wobei die Meßkapazität durch eine Reihenschaltung der Gesamtkapazitäten der beiden Kondensatoranordnungen (Ka) gebildet ist.
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