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发明名称
REFRIGERANT FLUID TRAP FOR VACUUM EVAPORATORS FOR THE DEPOSIT OF THIN METAL FILMS
摘要
申请公布号
EP0255965(B1)
申请公布日期
1990.05.23
申请号
EP19870201234
申请日期
1987.06.26
申请人
SGS-THOMSON MICROELECTRONICS S.R.L.
发明人
VISCUSO, ORAZIO
分类号
B01D8/00;C23C14/56
主分类号
B01D8/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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