发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02156693(A) 申请公布日期 1990.06.15
申请号 JP19880312522 申请日期 1988.12.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJII TAKUYA
分类号 H01L21/205;H01S5/00;H01S5/042 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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