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发明名称 MANUFACTURE OF BURIED TYPE SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02264489(A) 申请公布日期 1990.10.29
申请号 JP19890085965 申请日期 1989.04.05
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TAKAHASHI SHOGO
分类号 H01S5/00;H01S5/026;(IPC1-7):H01S3/18 主分类号 H01S5/00
代理机构 代理人
主权项
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