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发明名称 NEGATIVE RESIST COMPOSITIONS
摘要
申请公布号 EP0282724(B1) 申请公布日期 1990.12.12
申请号 EP19880101849 申请日期 1988.02.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 ALLEN, ROBERT DAVID;FRECHET, JEAN M J;TWIEG, ROBERT JAMES;WILLSON, CARLTON GRANT
分类号 G03F7/004;G03F7/029;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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