| 发明名称 |
PHOTOSENSITIVE COMPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR910004849(B1) |
申请公布日期 |
1991.07.13 |
| 申请号 |
KR19880015661 |
申请日期 |
1988.11.26 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP. |
发明人 |
USIROKUCHI DORU;HAYASE SUZI;ONISHI YASNOBU;HORIKUZI RUMIKO |
| 分类号 |
G03F7/021;G03F7/023;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/022 |
主分类号 |
G03F7/021 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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