发明名称 MANUFACTURING PROCESS AND DEVICE COMPOUND SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPH0472608(A) 申请公布日期 1992.03.06
申请号 JP19900340401 申请日期 1990.11.30
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 USUDA KOJI;FUJII TAKASHI
分类号 H01L21/02;H01L21/205 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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