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发明名称
METHOD OF MODIFYING SURFACES AND APPLICATION OF THE METHOD IN FORMING LAYERED STRUCTURES
摘要
申请公布号
EP0241739(B1)
申请公布日期
1992.07.29
申请号
EP19870103900
申请日期
1987.03.17
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
发明人
JONES, CAROL RUTH;SUSKO, ROBIN ANNE
分类号
C08J7/00;H01L21/768;C23C18/22;H01L23/522;H05K3/18;H05K3/38;(IPC1-7):C23C18/22
主分类号
C08J7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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