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发明名称 INSULATING FILM FOR INSPECTION OF SEMICONDUCTOR ELEMENT AND INSPECTION DEVICE AND INSPECTION METHOD
摘要
申请公布号 JPH04354348(A) 申请公布日期 1992.12.08
申请号 JP19910157491 申请日期 1991.05.31
申请人 NITTO DENKO CORP 发明人 ISHIZAKA HITOSHI;OUCHI KAZUO;TANAKA MUNEKAZU;MORITA NAOHARU;SUGIMOTO MASAKAZU
分类号 G01R31/28;H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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