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发明名称
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0563057(A)
申请公布日期
1993.03.12
申请号
JP19910219718
申请日期
1991.08.30
申请人
NEC KANSAI LTD
发明人
MURATA HIROSHI
分类号
B08B3/02;H01L21/301;H01L21/52;H01L21/677;H01L21/68;H01L21/78
主分类号
B08B3/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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