发明名称 EVALUATING METHOD FOR SOLID-STATE IMAGE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH05102451(A) 申请公布日期 1993.04.23
申请号 JP19910263529 申请日期 1991.10.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TANAKA TOMOYA;NAKAYAMA HIROSHI
分类号 H01L21/66;H01L27/14 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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