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发明名称
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SUPRALEITENDEN DUENNEN SCHICHT UND ANORDNUNG ZU SEINER DURCHFUEHRUNG.
摘要
申请公布号
DE3877405(T2)
申请公布日期
1993.05.06
申请号
DE19883877405T
申请日期
1988.04.19
申请人
NISSIN ELECTRIC CO., LTD., KYOTO, JP
发明人
NOGAWA, SHUICHI;KAMIJO, EIJI, UKYO-KU KYOTO-SHI KYOTO, JP
分类号
H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24;C23C14/00
主分类号
H01L39/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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