发明名称 可搬式密闭容器用气体净化装置
摘要 本发明提供一种可简便地配设在净内之任意场所之可搬式密闭容器用气体净化装置。本发明具备有设有开口42而该开口之圆周部为载置密闭容器10之容器台架部43之净化箱体40,被连接于气体源之给气体口,及排气口,及可从箱内部密封上述开口且控制上述容器之盖体20所设有之锁机构之开锁,上锁之昇降部46为其特征者。
申请公布号 TW214613 申请公布日期 1993.10.11
申请号 TW082104270 申请日期 1993.05.29
申请人 神钢电机股份有限公司 发明人 山下哲平;田中干;村田正直;林满弘;河野等;森田日也;奥野敦
分类号 H01L49/00 主分类号 H01L49/00
代理机构 代理人 洪武雄 台北巿城中区武昌街一段六十四号八楼;陈灿晖 台北巿城中区武昌街一段六十四号八楼
主权项 1﹒一种可搬式密闭容器用气体净化装置,其特征为,具备有其设有开口而该开口之圆周部为载置密闭容器之容器台架部之净化箱(purgebox),被连接于气体源之气体供给口,排气口,及可从箱内部密封上述开口且控制上述容器之盖体所设有之锁机构之开锁,上锁之昇降部者。3﹒如申请专利范围第1项记载之可搬式容器用气体净化装置,其中,供给气体口与排气口开口于台架部开口之周面成箱体之周面上,在气体净化时,容器之盖体被开锁之同时与昇降部一起下降若干,使净化箱与容器内部连通者。图示简单说明:图l为显示本发明第l实施例之纵剖面图。图2为用以说明可搬式密闭容器锁机构之剖面图。图3为显示习知例之纵剖面图。
地址 日本