| 发明名称 |
MICROCANTILEVER CHIP FOR INTER ATOMIC FORCE MICROSCOPE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH05302829(A) |
申请公布日期 |
1993.11.16 |
| 申请号 |
JP19920109731 |
申请日期 |
1992.04.28 |
| 申请人 |
OLYMPUS OPTICAL CO LTD |
发明人 |
YAMAGUCHI MITSUSHIRO;KAJIMURA HIROSHI |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q60/24;G01Q60/38;G01Q70/02;H01J37/28;(IPC1-7):G01B21/30 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
