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发明名称 Displacement sensing circuit less influenced by external noises.
摘要
申请公布号 EP0435233(B1) 申请公布日期 1994.07.20
申请号 EP19900125306 申请日期 1990.12.21
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 SHIRAO, YUJI;CHINO, HIROYUKI;NAKAZAWA, TOSHIHARU
分类号 G01B7/14;G01B7/00;G01D5/20;G01D5/22;(IPC1-7):G01D5/22 主分类号 G01B7/14
代理机构 代理人
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