| 发明名称 |
THIN FILM OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND THIN FILM FORMATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0722329(A) |
申请公布日期 |
1995.01.24 |
| 申请号 |
JP19930155371 |
申请日期 |
1993.06.25 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
MUTSUHIRA KATSUYUKI;MIZUNO SHINSUKE |
| 分类号 |
C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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