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发明名称 Patterning a transparent conductor.
摘要
申请公布号 EP0411530(B1) 申请公布日期 1995.02.08
申请号 EP19900114580 申请日期 1990.07.30
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 MIYAGAKI, SHINJI, C/O FUJITSU LTD.;RI, SEIGEN, C/O FUJITSU LTD.
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L27/146;H01L31/18;(IPC1-7):H01L31/18 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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