| 发明名称 |
APPARATUS FOR MANUFACTURING MATERIAL BY VAPOR DEPOSITION, METHOD OF MANUFACTURING MATERIAL BY VAPOR DEPOSITION AND MANUFACTURE OF SILICONE CARBIDE STRUCTURE BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0770753(A) |
申请公布日期 |
1995.03.14 |
| 申请号 |
JP19940126371 |
申请日期 |
1994.06.08 |
| 申请人 |
C V D INC |
发明人 |
JITENDORA ESU GOERA;RII II BAANZU;AREKUSANDAA TEBEROFUSUKII;JIEEMUZU SHII MAKUDONARUDO |
| 分类号 |
C23C16/32;C23C16/01;C23C16/44;C23C16/455;C30B28/14;C30B29/36;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
C23C16/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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