发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07201976(A) 申请公布日期 1995.08.04
申请号 JP19930351868 申请日期 1993.12.28
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 SATO KAORU
分类号 H01L21/316;H01L21/322;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
地址