| 发明名称 |
Vorrichtung zur lokalen Erzeugung eines Plasmas in einer Behandlungskammer mittels Mikrowellenanregung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE9117087(U1) |
申请公布日期 |
1995.10.26 |
| 申请号 |
DE19910017087U |
申请日期 |
1991.11.04 |
| 申请人 |
BUCK WERKE GMBH & CO, 73337 BAD UEBERKINGEN, DE |
发明人 |
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| 分类号 |
H01J37/32;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46;C23C14/22;H01P5/02 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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