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发明名称 FORMATION OF FINE ELEMENT ISOLATION
摘要
申请公布号 JPH07321192(A) 申请公布日期 1995.12.08
申请号 JP19940131442 申请日期 1994.05.20
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KUMAZAKI YOSHIHIRO
分类号 H01L21/316;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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