| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0831944(A) |
申请公布日期 |
1996.02.02 |
| 申请号 |
JP19940163504 |
申请日期 |
1994.07.15 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI MICROCOMPUT SYST LTD |
发明人 |
TANIZAKI YASUNOBU;KOBAYASHI MASASHI;SAWASE TERUMI |
| 分类号 |
H01L21/82;C30B25/12;(IPC1-7):H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/82 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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