发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08148483(A) 申请公布日期 1996.06.07
申请号 JP19940290027 申请日期 1994.11.24
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 SAKAMURA SHOJI
分类号 H01L21/316;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/306;H01L21/320 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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