FORMATION OF PATTERN,申请号JP19950135736-传众专利搜索

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发明名称	FORMATION OF PATTERN
摘要
申请公布号	JPH08306698(A)	申请公布日期	1996.11.22
申请号	JP19950135736	申请日期	1995.05.10
申请人	CASIO COMPUT CO LTD	发明人	HAYASHI TOMIO
分类号	H01L21/3213;H01L21/316;H01L21/32;(IPC1-7):H01L21/321	主分类号	H01L21/3213
代理机构		代理人
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