发明名称 Maschine zum Kantenscheifen von Halbleiterplatten
摘要
申请公布号 DE69304498(T2) 申请公布日期 1997.04.03
申请号 DE19936004498T 申请日期 1993.11.26
申请人 SHIN-ETSU HANDOTAI CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HASEGAWA, FUMIHIKO, SHIN-ETSU HANDOTAI CO. LTD., NISHI-SHIRAKAWA-GUN, FUKUSHIMA-KEN, JP;OHTANI, TATSUO, SHIN-ETSU HANDOTAI CO. LTD., NISHI-SHIRAKAWA-GUN, FUKUSHIMA-KEN, JP;KURODA, YASUYOSHI, SHIN-ETSU HANDOTAI CO. LTD., NISHI-SHIRAKAWA-GUN, FUKUSHIMA-KEN, JP
分类号 B24B9/06;B24B49/16;(IPC1-7):B24B9/06 主分类号 B24B9/06
代理机构 代理人
主权项
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