微波传播和吸收区分开的等离子体装置

摘要

一种配送微波功率以便在封闭箱内激发等离子体用的装置，包括至少一个微波能量第二施加器(P2)与第一施加器(P1)和激发器(e)形成至少一个激发三元组合。其中，首先，第一和第二施加器安装成基本上互相平行并在空间上隔开一定距离，以便在其间形成一个微波能量传播区(P)；其次，激发器(e)安置在密封箱(7)内部，以这样一种方式相对于第一和第二施加器(P1，P2)安置，使得电子的轨道(5)不与传播区(P)相交，从而分开传播区(P)和吸收区(A)。

主权项

1.一种用于配送微波功率以便在密封箱内激发等离子体的配送装置，该装置包括：一个微波能量源(20)；至少一个微波能量第一施加器(P1)(21)；至少一个线形等离子体激发器(e)，安置在距微波第一施加器(P1)一定距离处，用于在它们之间形成一个吸收区(A)，电子沿确定的轨道(5)受到该微波场的加速；其特征在于，该配送装置包括至少一个微波能量第二施加器(P2)，用于与一个第一施加器(P1)和一个激发器(e)配合，形成至少一个激发三元组合，其中，首先，第一施加器(P1)和第二施器(P2)安装成大体上互相平行并在空间上隔开一定距离，在其间形成一个微波能量传播区(P)，其次，激发器(e)安置在密封箱(7)内部，以这样一种方式相对于第一和第二施加器(P1，P2)安置，使得电子的轨道(5)不与传播区(P)相交，从而分开传播区(P)和吸收区(A)。