Verfahren zur Abscheidung einer keramischen Beschichtung aus der Dampfphase unter Verwendung eines wasserdampfhaltigen Trägergases und nicht-Alkoxy-Silan Precursoren,申请号DE19956001274T-传众专利搜索

发明名称	Verfahren zur Abscheidung einer keramischen Beschichtung aus der Dampfphase unter Verwendung eines wasserdampfhaltigen Trägergases und nicht-Alkoxy-Silan Precursoren
摘要
申请公布号	DE69501274(T2)	申请公布日期	1998.04.16
申请号	DE19956001274T	申请日期	1995.02.13
申请人	ENICHEM S.P.A., MAILAND/MILANO, IT	发明人	CLARK, TERENCE, PRINCETON, NEW JERSEY 08540, US;CRUSE, RICHARD, KENDALL PARK, NEW JERSEY 08824, US;ROHMAN, STEPHEN, KENDALL PARK, NEW JERSEY 08824, US;MININNI, ROBERT, STOCKTON, NEW JERSEY 08559, US
分类号	C23C16/30;C23C16/40;(IPC1-7):C23C16/40;B01J19/02;C07F7/10	主分类号	C23C16/30
代理机构		代理人
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