发明名称 SOLID PHASE JUNCTIONING METHOD
摘要
申请公布号 JPH10106907(A) 申请公布日期 1998.04.24
申请号 JP19960260753 申请日期 1996.10.01
申请人 CANON INC 发明人 AKAIKE MASATAKE
分类号 B32B7/04;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 B32B7/04
代理机构 代理人
主权项
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