发明名称 BONDING DEVICE FOR CHIP WITH BUMP
摘要
申请公布号 JPH10321673(A) 申请公布日期 1998.12.04
申请号 JP19970132076 申请日期 1997.05.22
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ONIZUKA YASUTO
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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