发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH11121707(A) 申请公布日期 1999.04.30
申请号 JP19970285847 申请日期 1997.10.17
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 HAMADA HIDESHI
分类号 H01L27/108;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/824 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
主权项
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