| 发明名称 |
ROTATING TYPE SUBSTRATE DRYER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11121431(A) |
申请公布日期 |
1999.04.30 |
| 申请号 |
JP19970303641 |
申请日期 |
1997.10.16 |
| 申请人 |
SUMITOMO PRECISION PROD CO LTD |
发明人 |
MURATA TAKASHI;ICHIKAWA SHIGEMICHI |
| 分类号 |
F26B11/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
F26B11/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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