| 主权项 |
1.一种液体供应装置,包括:一容器瓶,用以承装一液体,并且将该液体供应给一装置使用;以及一液位侦测器,配置给该容器瓶,用以侦测该液体之一液位,并在该液位低于一残余量准位时,产生一感测讯号。2.如申请专利范围第1项所述之液体供应装置,其中该液位侦测器系一光纤光电感测器。3.如申请专利范围第1项所述之液体供应装置,其中该液位侦测器可以藉由调整该光纤光电感测器在该容器中的位置,得以改变想要侦测之残余量的値。4.如申请专利范围第1项所述之液体供应装置,更包含一导管,使该液体得以从该导管流出,供应给该装置使用。5.如申请专利范围第1项所述之液体供应装置,其中该装置系一旋涂式玻璃(Spin-On Glass,简称SOG)机台。6.一种液体供应装置,用于一SOG机台,该液体供应装置包括:一容器瓶,用以承装一液体;以及一光纤光电感测器,配置给该容器瓶,用以侦测该液体之一液位,并在该液位低于一残余量准位时,产生一感测讯号;以及一导管,配置给该容器瓶,使该液体得以从该导管流出,供应给该SOG机台使用。7.如申请专利范围第6项所述之液体供应装置,其中该光纤光电感测器更连接到一放大单元,用以将该感测讯号放大。8.如申请专利范围第6项所述之液体供应装置,其中该光纤光电感测器之外套接一保护管,用以避免被该液体侵蚀。9.如申请专利范围第6项所述之液体供应装置,其中该保护管之材质为铁弗龙。10.如申请专利范围第6项所述之液体供应装置,其中该液位侦测器可以藉由调整该光纤光电感测器在该容器瓶中的位置,得以改变想要侦测之残余量的値。图式简单说明:第一图绘示习知之技艺的示意图;以及第二图绘示依照本创作一较佳实施例的图。 |
