发明名称 具有评估金属绝缘体半导体场效电晶体(MISFET)之半导体元件
摘要 一种耗尽型金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET系形成于半导体基体之表面,金属绝缘体半导体场效电晶体包括一源区域、一漏极区域,一位于源区域与漏极区域间之沟道、一闸绝缘膜、一杂质扩散区域形成于半导体基体表层、一互联件用以电联闸电极与杂质扩散区域、一p-n结,其当足够截止金属绝缘体半导体场效电晶体的电压被施于该沟道之闸电极时,被反向偏压,在杂质扩散区域与沟道区域间之电路变成不导电、数个垫片被联接至闸电极、源区域与漏极区域。
申请公布号 TW404066 申请公布日期 2000.09.01
申请号 TW088104084 申请日期 1999.03.16
申请人 富士通股份有限公司 发明人 田中利幸
分类号 H01L29/78 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 恽轶群 台北巿南京东路三段二四八号七楼;陈文郎 台北巿南京东路三段二四八号七楼
主权项 1.一种半导体装置,其包括:一半导体基体;一种形成于该半导体基体之表面之耗尽型金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET,该金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET包括一源区域、一漏极区域,一位于源区域与漏极区域间之沟道区域、一位于沟道区域上之闸绝缘膜,一位于闸绝缘膜上之闸电极;一杂质扩散区域形成于该半导体基体之表层上;一用以电联闸电极与该杂质扩散区域互联件;一p-n结,其系当足够截止金属绝缘体半导体场效电晶体的电压,相对于该沟道被施加到闸电极时,被反向偏压,且使该杂质扩散区域与该沟道区域间之电路变成不导电;被分别联接至闸电极、源区域与漏极区域的数个垫片。2.一种半导体装置,其包括:一半导体基体;一种形成于该半导体基体之表面之金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET,该金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET包括一源区域、一漏极区域,一位于源区域与漏极区域间之沟道区域、一位于沟道区域上之闸绝缘膜,一位于闸绝缘膜上之闸电极;一第一导电态之第一井,其形成于该半导体基体之表层;一杂质扩散区域域形成于该第一井,其具有与第一导电态相反之第二导电态;一第二导电态的原区域,其环绕源自该半导体基体之第一井;一互联件,其用以电联闸电极与该杂质扩散区域;数个垫片,其被分别联接至闸电极、源区域与漏极区域。3.如申请专利范围第2项之半导体装置,其中该表面区域包括一与该半导体基体之导电态相同之导电态。4.如申请专利范围第3项之半导体装置,其更包括一具有与该半导体之导电态者相同之第二井,该第二井系形成于不同于第一井区域上的该表面区域中,其中该金属绝缘体半导体场效电晶体(MISFET系安设在该第二井中。5.如申请专利范围第2项之半导体装置,其中,该半导体基体具有第一导电态,且该表面区域系由沉积在该半导体基体表面属于第二导电态的第二井所组成。6.如申请专利范围第5项之半导体装置,其中该金属绝缘体半导体场效电晶体(MISFET)系安设在该第二井中。7.如申请专利范围第5项之半导体装置,更包括一形成在第二井中之第一导电态的第三井,其中该金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET系安设在该第三井中。8.如申请专利范围第2项之半导体装置,其更包括一具第二导电态者之第二井,该第二井形成于不同于杂质扩散区域的第一井中,其中该金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET系安设在该第二井中。9.如申请专利范围第2项之半导体装置,其该金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET为耗尽型。10.一种半导体装置,其包括:一半导体基体;一种形成于该半导体基体之表面之金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET,该金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET包括一源区域、一漏极区域,一位于源区域与漏极区域间之沟道区域、一位于沟道区域上之闸绝缘膜,一位于闸绝缘膜上之闸电极;一第一导电态之井,其形成于该半导体基体之表层;一杂质扩散区域形成于该第井中,其具有与第一导电态相反之第二导电态;一第二导电态的源区域,其环绕源自该半导体基体侧的该井;一互联件,其用以电联闸电极与该杂质扩散区域;其中第一导电态之该井区域经由该比表面之杂质扩散区域而被电联至导电区域接至闸电极、源区域与漏极区域。11.如申请专利范围第10项之半导体装置,其中该表面区域包括一与该半导体基体之导电态相同之导电态。12.如申请专利范围第10项之半导体装置,其中该半导体基体具有第一导电态,且该表面区域系由沉积在该半导体基体表层所之第二导电态的另一井所组成。13.如申请专利范围第10项之半导体装置,其该金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET为耗尽型。14.一种半导体装置,其包括:一半导体基体;一种形成于该半导体基体之表面之耗尽型金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET,该金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET包括一源区域、一漏极区域,一位于源区域与漏极区域间之沟道、一位于沟道上之闸绝缘膜,一位于闸绝缘膜上之闸电极、金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET之阀値之测量系藉着以探针接触该半导体基体之特定区域;一杂质扩散区域,其形成于该半导体基体之表面上;一互联件,其用以电联闸电极与该杂质扩散区域;一p-n结,其系当足够截止与沟道连接之金属绝缘体半导体场效电晶体的电压被施于相对沟道区域之闸电极时,被反向偏压,且使该杂质扩散区域与沟道区域间之电路变成不导电。15.一种半导体装置,其包括:一半导体基体;一种形成于该半导体基体之表面之金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET,该金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET包括一源区域、一漏极区域,一位于源区域与漏极区域域间之沟道区域、一位于沟道上之闸绝缘膜,一位于闸绝缘膜上之闸电极、金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET之阀値之测量系藉着以探针接触该半导体基体之特定区域;一第一导电态之井,其形成于该半导体基体之表层;一杂质扩散区域域形成于该井中,其具有与第一导电态相反之第二导电态;一第二导电态的表面区域,其环绕源自该半导体基体侧的该井;一互联件,其用以电联闸电极与该杂质扩散区域。16.如申请专利范围第15项之半导体装置,其中该表面区域具有与半导体基体之导电态相同之导电态。17.如申请专利范围第15项之半导体装置,其中该半导体基体具有第一导电态,且该表面区域系由沉积在该半导体基体表层的第二导电态另一井所组成。图式简单说明:第一图为根据本发明第一实施例之半导体装置的截面图式;第二图为一曲线图,显示第一实施例半导体装置之金属绝缘体半导体场效电晶体MISFET电流-电压特性的测量结果;第三图为根据本发明第二实施例之半导体装置的截面图;第四图A与第四图B为根据本发明第三实施例与其改良者之半导体装置的截面图;第五图为传统半导体装置的截面图;第六图为具有实施例半导体装置的晶片之平面图。
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