INTEGRATED TARGET STRUCTURE FOR GENERATING CHARGED PARTICLE AND DRIVING METHOD OF MEDICAL APPLIANCE USING THE SAME

摘要

본원 발명은 하전입자 생성용 일체형 타겟 구조체에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 의한 일체형 타겟 구조체는 레이저 빔의 조사에 대응하여 하전입자들을 방출하는 타겟층과, 상기 레이저 빔 및 하전입자들 중 적어도 하나를 제어하기 위한 광 부품과, 상기 타겟층 및 광 부품을 하나의 구조물로 지지하기 위한 지지체를 구비한다.