| 主权项 |
1.一种光罩自动转换机,包括:一第一光罩盒;一第二光罩盒,一光罩位于该第二光罩盒内;以及一机械手臂,具有两支吸取臂,该些吸取臂上各具有至少一真空孔,该机械手臂用以吸住位于该第二光罩盒内之该光罩,并将该光罩移至该第一光罩盒内。2.如申请专利范围第1项所述之光罩自动转换机,其中该第一光罩盒和该第二光罩盒的尺寸可不同。3.如申请专利范围第1项所述之光罩自动转换机,其中更包括一对准机构,于该光罩被该机械手臂吸住后,置于该对准机构,以确定该光罩与该些吸取臂的相对位置。4.如申请专利范围第1项所述之光罩自动转换机,其中更包括复数个条码读取装置,其中该些条码读取装置之一者为用以读取该光罩之一第一条码,其中该些条码读取装置之另一者为用于读取该第二光罩盒之一第二条码。5.如申请专利范围第4项所述之光罩自动转换机,其中用以读取该第一与第二条码之该些条码读取装置更包括一警讯系统,若该第一条码和该第二条码的内容不同,则会产生一警告讯号。6.如申请专利范围第1项所述之光罩自动转换机,其中更包括复数个条码读取装置,其中该些条码读取装置之一者为用以读取该光罩之一第一条码,其中该些条码读取装置之另一者为用于读取该第二光罩盒之一第二条码,其中该些条码读取装置之再一者为用于读取该第三光罩盒之一第三条码。7.如申请专利范围第6项所述之光罩自动转换机,其中用以读取该第一、第二与第三条码之该些条码读取装置更包括一警讯系统,若该第一条码、该第二条码和该第三条码的内容不同,则会产生一警告讯号。8.如申请专利范围第1项所述之光罩自动转换机,其中该些吸取臂之一的前端,更包括一感测器,用以侦测该第一光罩盒内和该第二光罩盒内中有无光罩。9.一种光罩自动转换机,适用于将一第一光罩盒内之一光罩,转换至一第二光罩盒内,包括:一机械手臂,具有一第一吸取臂和一第二吸取臂,至少一真空孔分别位于该第一吸取臂和该第二吸取臂上,用以吸取该光罩;以及一对准机构,用以确定该第一吸取臂和该第二吸取臂与该光罩的相对位置。10.如申请专利范围第9项所述之光罩自动转换机,其中该第一光罩盒和该第二光罩盒的尺寸可不同。11.如申请专利范围第9项所述之光罩自动转换机,其中更包括复数个条码读取装置,其中该些条码读取装置之一者为用以读取该光罩之一第一条码,并且该些条码读取装置之另一者为用于读取该第二光罩盒之一第二条码。12.如申请专利范围第11项所述之光罩自动转换机,其中用以读取该第一与第二条码之该些条码读取装置更包括一警讯系统,若该第一条码和该第二条码的内容不同,则会产生一警告讯号。13.如申请专利范围第9项所述之光罩自动转换机,其中更包括复数个条码读取装置,其中该些条码读取装置之一者为用以读取该光罩之一第一条码,其中该些条码读取装置之另一者为用于读取该第二光罩盒之一第二条码,其中该些条码读取装置之再一者为用于读取该第三光罩盒之一第三条码。14.如申请专利范围第13项所述之光罩自动转换机,其中用以读取该第一、第二与第三条码之该些条码读取装置更包括一警讯系统,若该第一条码、该第二条码和该第三条码的内容不同,则会产生一警告讯号。15.如申请专利范围第9项所述之光罩自动转换机,其中该些吸取臂之一的前端,更包括一感测器,用以侦测该第一光罩盒内和该第二光罩盒内有无光罩。16.一种光罩自动转换机,适用于将一第一光罩盒内之一光罩,转换至一第二光罩盒内,该第一光罩盒置于一第一光罩盒定位开关机构上,该第二光罩盒置于一第二光罩盒定位开关机构上,包括:一机械手臂,具有一第一吸取臂和一第二吸取臂,至少一真空孔分别位于该第一吸取臂和该第二吸取臂上,用以吸取该光罩;以及一对准机构,用以确定该第一吸取臂和该第二吸取臂与该光罩的相对位置。17.如申请专利范围第16项所述之光罩自动转换机,其中该第一光罩盒和该第二光罩盒的尺寸可不同。18.如申请专利范围第16项所述之光罩自动转换机,其中更包括复数个条码读取装置,其中该些条码读取装置之一者为用以读取该光罩之一第一条码,并且该些条码读取装置之另一者为用于读取该第二光罩盒之一第二条码。19.如申请专利范围第18项所述之光罩自动转换机,其中用以读取该第一与第二条码之该些条码读取装置更包括一警讯系统,若该第一条码和该第二条码的内容不同,则会产生一警告讯号。20.如申请专利范围第16项所述之光罩自动转换机,其中更包括复数个条码读取装置,其中该些条码读取装置之一者为用以读取该光罩之一第一条码,其中该些条码读取装置之另一者为用于读取该第二光罩盒之一第二条码,其中该些条码读取装置之再一者为用于读取该第三光罩盒之一第三条码。21.如申请专利范围第20项所述之光罩自动转换机,其中用以读取该第一、第二与第三条码之该些条码读取装置更包括一警讯系统,若该第一条码、该第二条码和该第三条码的内容不同,则会产生一警告讯号。22.如申请专利范围第16项所述之光罩自动转换机,其中该些吸取臂之一的前端,更包括一感测器,用以侦测该第一光罩盒内和该第二光罩盒内有无光罩。23.如申请专利范围第16项所述之光罩自动转换机,其中该第一和第二光罩盒定位开关均分别装设一第一和第二感测器,用以分别确定该第一光罩盒之一第一门与该第二光罩盒之一第二门是否开到定位。24.如申请专利范围第16项所述之光罩自动转换机,其中该对准机构更包括装设至少一第三感测器。图式简单说明:第一图系绘示根据本创作较佳实施例之一种光罩自动转换机;第二图系绘示第一图中之机械手臂10的放大图;第三图A和第三图B分别绘示光罩的平面图和剖面图;第四图系绘示机械手臂的吸取臂将光罩吸住时之顶视图;第五图系绘示对准机构加装二组感测器的示意图;以及第六图系绘示在ASYST光罩盒定位开关机构中,加装定位感测器的示意图。 |
