发明名称 SYSTEM AND PROCESS FOR CALIBRATING PYROMETERS IN THERMAL PROCESSING CHAMBERS
摘要
申请公布号 KR20020019016(A) 申请公布日期 2002.03.09
申请号 KR1020017014003 申请日期 2001.11.02
申请人 发明人
分类号 G01J5/00 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
主权项
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