| 主权项 |
1.一种压电式流体控制阀,具有由膜片阀之变位将流体流路开闭的阀机构部,和将上述膜片阀开闭操作之压电式操作部,上述阀机构部,在第1外壳内有上述流体流路,和被设在该流体流路的中间之阀座,和对该阀座接离而开闭上述流路的,被供给从该阀座向分开方向的弹力之上述膜片阀,和接离在该膜片阀的背面向开闭方向一起变位之按压子,上述压电式操作部,系在上述第1外壳被结合的第2外壳内,有由施加电压而伸长的压电元件叠片体,和被配设在该压电元件叠片体之一端侧,将该压电元件叠片体的伸长力传给上述按压子,使膜片阀就座在阀座之第1构件,和在上述压电元件叠片体的他端侧被配设成自由变位之第2构件,和在压电元件叠片体的伸长时将与此第2构件一起变位之弹簧座,及由该弹簧座的变位被弹性变形而对上述压电元件叠片体成反弹状态之阀弹簧,上述压电元件叠片体的伸长时之畸变量,将推压上述按压子使膜片阀就座在阀座,同时被设定为将上述弹簧座向反方向推而能使阀弹簧弹性变形之大小,为特征之压电式流体控制阀。2.如申请专利范围第1项之流体控制阀,其中,阀机构部的上述第1外壳和压电式操作部之成圆筒形的上述第2外壳,以使该第2外壳之一端嵌合在第1外壳的被设有阀座之阀孔内的状态被互相结合,在该第2外壳之前端部和上述阀孔的周底部之间,上述膜片阀的外周部被气密地挟持而固定,并且在该第2外壳之内部,有上述按压子被保持成自由变位为特征者。3.如申请专利范围第1项之流体控制阀,其中,上述弹簧座系在调整螺丝被安装成能自由调整位置,该调整螺丝,系由上述第2构件被变位之构成者。4.如申请专利范围第1项至第3项中的任何一项之流体控制阀,其中,上述压电式操作部的第2外壳,系具有在该压电元件叠片体之非通电时由使上述按压子卡止而规定膜片阀的开放冲程端之第1制动器,和由使上述弹簧座卡止而规定阀弹簧的伸长端之第2制动器者。5.如申请专利范围第1项至第3项中的任何一项之流体控制阀,其中,上述按压子和第1构件,系经由嵌合在相对的面之中心所形成的凹处之球体互相挡接者。6.如申请专利范围第1项至第3项中的任何一项之流体控制阀,其中,上述第1外壳,系在与连结在第2外壳侧相反侧的端面有安装在单元基板用之安装面,在该安装面备有连通上述流体流路的多数之流体出入口者。图式简单说明:[图1]系显示关于本创作的压电式流体控制阀之一实施例的在非操作状态之断面图。[图2]系在图1所示的流体控制阀在操作状态之断面图。[图3]系显示本创作的流体控制阀之动作状态的线图。 |
