| 摘要 |
本明細書に提供された実施形態は一般に静電チャック（ＥＳＣ）に関する。このＥＳＣは、ＥＳＣを貫通する孔など、減らされたいくつかの応力開始点を含むことができ、これによってＥＳＣの機械的完全性を向上させることができる。ＥＳＣ内に配置された電極を、導電性リード線を介して電気接点および電源に接続することができ、この導電性リード線は、ＥＳＣの周囲端面に沿って結合または形成することができる。したがって、ＥＳＣ内に形成された孔の必要性を低減または排除することができる。加えて、頂面もしくは底面またはその両方にガスチャネルを形成することができる。それらのガスチャネルは、ＥＳＣを貫いて形成されたガスチャネルの必要性を低減させまたは排除することができ、また、基板支持体、ＥＳＣおよびＥＳＣに結合された基板間の熱伝達を容易にすることができる。 |
