发明名称 Microelctronic device and method of its manufacture
摘要
申请公布号 AU2002309200(A1) 申请公布日期 2002.12.23
申请号 AU20020309200 申请日期 2002.06.05
申请人 NATIONAL MICROELECTRONIC RESEARCH CENTRE 发明人 PAUL LAMBKIN;WILLIAM LANE
分类号 G01J5/20;(IPC1-7):G01J5/20 主分类号 G01J5/20
代理机构 代理人
主权项
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