光调制装置及其制造方法

摘要

提供一种耐久性好的光调制装置及其制造方法。利用由驱动电极130和微镜220之间的电位差所产生的静电力来倾斜驱动微镜220的光调制装置的制造方法，包含整体形成位于倾斜驱动微镜220时的支点处的支撑部280和成为倾斜驱动微镜220时的轴的轴部230。

主权项

1.一种光调制装置的制造方法，用于制造利用由驱动电极和微镜之间的电位差而产生的静电力来倾斜驱动上述微小镜的光调制装置，其包含将位于倾斜驱动上述微镜时的支点处的支撑部和成为倾斜驱动上述微镜时的轴的轴部整体形成的工序。