摘要 |
식 (1)로 나타내는 환상 화합물.(L: 결합, C직쇄/분기 알킬렌, C시클로알킬렌, C아릴렌, O, OCO, OCOO, NRCO, NRCOO <R: H, C알킬>, S, SO, SO및 이들의 임의의 조합; R: C알킬, C시클로알킬, C아릴, C알콕시, CN, NO, OH, 복소환, 할로겐, COOH, 글리시딜, C알킬실릴, H <단, 1 이상이 글리시딜, 다른 하나 이상이 H>; m: 1-4; R': C알킬, (치환)페닐) 상기 화합물은 안전 용매에 대한 용해성이 높고, 고감도이며, 또한 양호한 레지스트 패턴 형상을 부여하므로 감방사선성 조성물의 성분으로서 유용하다. |