| 主权项 |
1.一种晶舟载具之辅助晶舟定位结构,该晶舟载具之一顶面系用以承载一晶舟,该晶舟又包括有一后板,该后板之两侧于该晶舟上系形成为二肩部构形,当该晶舟于该晶舟载具之该顶面上正确摆置时,每一该肩部构形相对于该晶舟载具之该顶面部分系称为一肩部空间,其特征在于:该定位结构即以一突起之型态设于至少一该肩部空间中。2.如申请专利范围第1项所述之晶舟载具之辅助晶舟定位结构,其中所述之该定位结构系为一杆状物者。3.如申请专利范围第1项所述之晶舟载具之辅助晶舟定位结构,其中所述之该定位结构系为一突起物者。4.如申请专利范围第1项所述之晶舟载具之辅助晶舟定位结构,其中所述之该定位结构系为一设于该顶面上之黏贴物者。5.如申请专利范围第1项所述之晶舟载具之辅助晶舟定位结构,其中所述之该定位结构系设于每一该肩部空间中。6.一种具辅助晶舟定位结构之晶舟载具,系包括一用以承载一晶舟之顶面,该晶舟又包括有一后板,该后板之两侧于该晶舟上系形成为二肩部构形,当该晶舟于该晶舟载具之该顶面上正确摆置时,每一该肩部构形相对于该晶舟载具之该顶面部分系称为一肩部空间,其特征在于:至少一该肩部空间中,设有一以突起型态设置之定位结构。7.如申请专利范围第6项所述之具辅助晶舟定位结构之晶舟载具,其中所述之该定位结构系为一杆状物者。8.如申请专利范围第6项所述之具辅助晶舟定位结构之晶舟载具,其中所述之该定位结构系为一突起物者。9.如申请专利范围第6项所述之具辅助晶舟定位结构之晶舟载具,其中所述之该定位结构系为一黏贴物者。10.如申请专利范围第6项所述之具辅助晶舟定位结构之晶舟载具,其中所述之该定位结构系设于每一该肩部空间中。图式简单说明:图一系为习知一晶舟置于一反应舱中之示意图;图二系为习知另一晶舟置于一反应舱中之示意图;图三系为习知晶舟正确置于载具上之上视图;图四系为习知晶舟反向置于载具上之上视图;图五系为载具上相关位置之示意图;图六A系为本创作晶舟载具之辅助晶舟定位结构一突起限位实施例之立体示意图;图六B系为本创作晶舟载具之辅助晶舟定位结构另一突起限位实施例之立体示意图;图六C系为本创作晶舟载具之辅助晶舟定位结构又一突起限位实施例之立体示意图;图七A系为本创作晶舟载具之辅助晶舟定位结构一较佳实施例运用于晶舟承载之侧视图;以及图七B系为图七A之上视图。 |
