| 主权项 |
1.一种具有侦测及修复功能之转换机具,用以修复一侦测板上之待修元件,该转换机具系电连接一测试装置,且藉由该测试装置提供一测试电流,又该转换机具系包含:一转接板,其下部面板设置有复数个接触针,且该复数个接触针之排列位置系相对于该侦测板之复数个接触点;一插座,其设置于该转接板之上部面板,用以插置一积体电路元件;以及一固定器,用以固定该转接板与该侦测板,使该转接板上之复数个接触针与该侦测板之该复数个接触点能产生电连接,藉此该测试电流可透过该侦测板传送至该积体电路元件,并由观测该侦测板之该复数个接触点与该积体电路元件间之导通情形,以选定待修元件,进而提供一修复动作。2.如申请专利范围第1项所述之转换机具,其中该侦测板系可作为验证一晶圆品质。3.如申请专利范围第1项所述之转换机具,其中该待修元件系可为一继电器、一电阻及一积体电路元件中之一或其组合。4.如申请专利范围第1项所述之转换机具,其中该复数个接触针系指复数个探针。5.如申请专利范围第4项所述之转换机具,其中该复数个接触点系指复数个探针焊点。6.如申请专利范围第1项所述之修复机具,其中该固定器系具有二夹持部,用以同时固定位该转接板与该侦测板之二侧边。7.如申请专利范围第6项所述之转换机具,其中该夹持部形状为U型。8.如申请专利范围第1项所述之转换机具,其中该修复动作系指将待修元件作更换。9.一种侦测及修复方法,用以修复一侦测板上之待修元件,该转换机具系电连接一测试装置,且藉由该测试装置提供一测试电流,该方法包含下列步骤:提供一转接板,其下部面板设置有复数个接触针,且该复数个接触针之排列位置系相对于该侦测板之复数个接触点;插置一积体电路元件于该转接板之一插座上;固定该转接板与该侦测板,使该转接板上之复数个接触针与该侦测板之该复数个接触点能紧密接合;透过该侦测板将该侦测电流传送至该积体电路元件,藉以观测该侦测板之该复数个接触点与该积体电路元件间之导通情形;以及选定该侦测板中之待修元件,进而提供一修复动作。10.如申请专利范围第9项所述之侦测及修复方法,其中该侦测板系可作为验证一晶圆品质。11.如申请专利范围第9项所述之侦测及修复方法,其中该待修元件系可为一继电器、一电阻及一积体电路元件中之一或其组合。12.如申请专利范围第9项所述之侦测及修复方法,其中该复数个接触针系指复数个探针。13.如申请专利范围第12项所述之侦测及修复方法,其中该复数个接触点系指复数个探针焊点。14.如申请专利范围第9项所述之侦测及修复方法,其中系藉由一固定器之二夹持部,用以同时固定住该转接板与该侦测板之二侧边。15.如申请专利范围第14项所述之转换机具,其中该夹持部形状为U型。16.如申请专利范围第9项所述之侦测及修复方法,其中该修复动作系指将待修元件作更换。17.一种具有侦测及修复功能之转换机具,用以修复一侦测板上之待修元件,该转换机具系电连接一测试装置,且藉由该测试装置提供一测试电流,又该转换机具系包含:一替代电路装置,其具有复数个接触针,且该复数个接触针之排列位置系相对于该侦测板之该复数个接触点;以及一固定器,用以固定该转接板与该侦测板,使该转接板上之复数个接触针与该侦测板之该复数个接触点能产生电连接,藉此该测试电流可透过该侦测板传送至该替代电路装置,并由观测该侦测板之该复数个接触点与该替代电路装置间之导通情形,以选定待修元件,进而提供一修复动作。18.如申请专利范围第17项所述之转换机具,其中该侦测板系可作为验证一晶圆品质。19.如申请专利范围第17项所述之转换机具,其中该待修元件系可为一继电器、一电阻及一积体电路元件中之一或其组合。20.如申请专利范围第17项所述之转换机具,其中该复数个接触针系指复数个探针。21.如申请专利范围第20项所述之转换机具,其中该复数个接触点系指复数个探针焊点。22.如申请专利范围第17项所述之转换机具,其中该替代电路装置系包含:一转接板,其下部面板设置有该复数个接触针;以及一插座,其设置于该转接板之上部面板,用以插置一积体电路元件,且该积体电路元件可藉由该复数个接触针与该侦测板作电连接。23.如申请专利范围第17项所述之修复机具,其中该固定器系具有二夹持部,用以同时固定住该转接板与该侦测板之二侧边。24.如申请专利范围第23项所述之转换机具,其中该夹持部形状为U型。25.如申请专利范围第17项所述之转换机具,其中该修复动作系指将待修元件作更换。图式简单说明:第一图:其系为习用之更换侦测板(Probe Card)上零件之流程图。第二图(a):其系本案较佳实施例中之替代电路装置结构示意图。第二图(b):其系本案较佳实施例之侦测板电连结测试装置之结构示意图。第二图(c):其系本案较佳实施例之侦测板电连接替代电路装置之结构示意图。第二图(d):其系本案较佳实施例之具有侦测及修复功能之转换机具结构示意图。第三图:其系本案较佳实施例之更换侦测板(ProbeCard)上零件之流程图。 |
