接着方法,接着装置

摘要

为提供一种不会产生气泡的接着方法。该接着方法，系在配置接着剂37于接着剂容器30内的状态下进行加热、真空、离心脱泡，于半硬化后，吐出配置于该接着剂容器30内的半硬化状态的接着剂，搭载晶片。由于同时进行半硬化与脱泡，故有效率地进行气泡除去。又，由于不必进行使吐出之接着剂半硬化的步骤，故即使在停止作业的情形下，亦不会发生不良品。