用于处理装置之工件支持器及使用该工件支持器之处理装置

摘要

本发明提供一种具有高可靠性之廉价工件支持器及一种安装有该工件支持器之处理装置，其中由空气中之氧所造成之损伤可被防止。该支持器包括：一有一电极及一加热器电路且能支持一工件之陶瓷体；一有一末端部分连接至该陶瓷体之管状构件；一置于该管状构件内且将该管状构件内一空间分隔成两个区域之密封构件；一位于第一末端部分上（密封部分）之区域及一位于相对边上之区域（相对区域）；及从该相对区域边伸出、穿透该密封构件而至该密封部分边且电连接至该电极及加热电路之一些电源供应导电构件。