安装方法及安装装置

摘要

本发明之目的在于提供一种安装方法及安装装置，其系于将被接合物的至少一方的面洗净之后将被接合物彼此接合者；其特征在于，前述洗净系藉由一边将被接合物加热一边对接合面以能量波或能量粒子照射而进行。藉此，可得到充分高的洗净效果，并可防止电荷蓄积损害的发生，藉此，可在常温或接近常温的低温进行对齐与接合，而可兼顾达成洗净效果之提高与高精密度的安装。