发明名称 | 树脂固化系统 | ||
摘要 | 本发明的树脂固化系统对于刚性不同的带子具有成本低、省空间的优点,其设有树脂固化装置63和带子卷绕装置64。其中树脂固化装置有用于加热带子12的第1~3运行通道L1~L3,通过运行通道L1~L3时进行热固化处理后的带子12从第1带子出口34送出;带子卷绕装置将由第1带子出口34送出的带子12,从第1带子导入口41导入后卷绕在卷绕卷轴44上。树脂固化装置63除了第1带子出口34之外,还有在第1运行通道L1运行后能将该带子12送出到外部的第2带子出口132。带子卷绕装置64除了第1导入口41之外,也有能将由第2带子出口132送出的带子12导入的第2带子导入口141。 | ||
申请公布号 | CN1482657A | 申请公布日期 | 2004.03.17 |
申请号 | CN03153094.X | 申请日期 | 2003.08.07 |
申请人 | 爱立发株式会社 | 发明人 | 丸山俊 |
分类号 | H01L21/56 | 主分类号 | H01L21/56 |
代理机构 | 沈阳科威专利代理有限责任公司 | 代理人 | 王勇 |
主权项 | 1.一种树脂固化系统,其构成包括树脂固化装置和带子卷绕装置,其中上述树脂固化装置的组成有以下各部,即:对采用树脂涂敷装置涂敷在带子上的热固性树脂进行加热的第1加热区域,将通过此第1加热区域的上述带子朝与第1加热区域相反的方向输送、同时进行加热的第2加热区域,将通过此第2加热区域的上述带子朝和第2加热区域相反的方向输送、同时进行加热的第3加热区域,以及将通过此第3加热区域的上述带子送出到加热炉外的第1带子出口;上述带子卷绕装置卷绕由上述第1带子出口送出的上述带子;另,上述树脂固化装置还设有将来自于上述第1加热区域的上述带子送出到上述加热炉外的第2带子出口,上述带子卷绕装置还设有将由上述第1带子出口送出的上述带子送到卷绕卷轴的第1送入辊、和将由上述第2带子出口送出的上述带子送到上述卷绕卷轴的第2送入辊。 | ||
地址 | 日本长野县诹访市 |