| 摘要 |
本发明系提供一种湿式处理装置，其在装置内部设置切换机构，可以在多个喷嘴间同时且瞬间地进行处理液的切换。本发明系采用一种湿式处理装置1，其特征为具有包含处理部11、将处理液导入的处理液导入部21、回收处理液的处理液回收部31的喷嘴1a，在处理液导入部21中，具有处理液流通路23、24、被连接在各处理液流通路23、24的下游侧并且同时在相对面11a侧具有开口部22的处理液流通配管25、被配置于处理液流通路23、24与处理液流通配管25之间且将选自处理液流通路23、24中的1个处理液流通路连接在处理液流通配管25上的切换机构26。 |
