多晶矽薄膜的制造方法

摘要

本发明系利用一般多晶矽层形成时表面突起具有不同高度的现象，利用部分高度较高的突起产生晶种，使用于接下来的结晶化步骤中，因此能够使新形成的多晶矽薄膜具有大小均匀且颗粒较大的晶粒，并具有数量与密度较少的突起，进而具有较佳的表面平坦度。